PM-630A
10吋晶圓檢測顯微鏡
產品說明
觀察鏡筒
三眼鏡筒,傾斜角度45度,可360度旋轉,附偏光裝置
瞳 間 距
55mm – 75mm
目 鏡
廣角目鏡 WF10X/20
物鏡
消色差物鏡: 4X/0.10 WD=17.9mm
消色差物鏡: 10X/0.25 WD= 6.5mm
平場消色差物鏡: PL20X/0.40 WD=1.05mm
平場消色差物鏡: PL40X/0.65 WD=0.74mm
載物平台
雙層機械移動平台,平台尺寸:400mm×300mm
縱向移動範圍:254mm 橫向移動範圍:254mm
放 大 倍 率
40X~400X
調 焦 裝 置
粗細調節輪同軸,調焦範圍:36mm 細調格值 0.002mm
照明系統
落射照明: 12V50W鹵素燈
透射照明: LED光源
配 件
藍色濾光片 防塵套
選配
可選購16X目鏡,PLL80X,PLL 100X物鏡
觀察鏡筒 |
三眼鏡筒,傾斜角度45度,可360度旋轉,附偏光裝置 |
| 瞳 間 距 | 55mm – 75mm |
| 目 鏡 | 廣角目鏡 WF10X/20 |
| 物鏡 | 消色差物鏡: 4X/0.10 WD=17.9mm 消色差物鏡: 10X/0.25 WD= 6.5mm 平場消色差物鏡: PL20X/0.40 WD=1.05mm 平場消色差物鏡: PL40X/0.65 WD=0.74mm |
| 載物平台 | 雙層機械移動平台,平台尺寸:400mm×300mm 縱向移動範圍:254mm 橫向移動範圍:254mm |
| 放 大 倍 率 | 40X~400X |
| 調 焦 裝 置 | 粗細調節輪同軸,調焦範圍:36mm 細調格值 0.002mm |
| 照明系統 | 落射照明: 12V50W鹵素燈 透射照明: LED光源 |
| 配 件 | 藍色濾光片 防塵套 |
| 選配 | 可選購16X目鏡,PLL80X,PLL 100X物鏡 |
